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洁净室高效空气过滤器

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洁净室高效空气过滤器

洁净室中所使用的空气过滤器的过滤效率是要比办公室等合用的高得多,洁净室过滤器一般从送风中滤除大于0.3um的粒子的效率大于99.97%,这些过滤器被称为高效过滤器(HEPA),在微电子生产和类似的领域中,则要使用更高的超高效过滤器(ULPA)。在大部分洁净室中都使用高效与超高效过滤器,但在较低标准的洁净室中,它们并非必需,在ISO  8级(100000)洁净室中,常常使用对大于等于0.5um粒子的过滤效率接近90%的袋式过滤器。

大多数高效与超高效过滤器都安装在洁净室送风的入口处,但在办公室等的空调系统中,过滤器直接安装在空调设备送风口处,过滤了的空气通过送风输往散流器,但粒子有可能被吸入送风管之中,从送风管壁也可能有掉落的粒子,它们均会进入室内,所以,洁净室的过滤器是安装在送风管的端头,而在标准较低的洁净室中,进入送风管或从送风管掉落下来的粒子仅是粒子总数的一小部分,因此,过滤器常常安装在传统的位置上,即安装在中央空调设备的送风出风口处。